Thorlabs SPDMA 단일 광자 감지 모듈

제품 정보

• 제품 이름: 단일 광자 검출기 SPDMA
• 제조업체: Thorlabs GmbH
• 버전: 1.0
• 날짜: 08-2021-XNUMX

일반 정보
Thorlabs의 SPDMA 단일 광자 검출기는 광학 측정 기술을 위해 설계되었습니다. 350~1100nm의 파장 범위에 특화된 냉각 실리콘 눈사태 광전 다이오드를 사용하며 최대 감도는 600nm입니다. 검출기는 들어오는 광자를 TTL 펄스 신호로 변환합니다. view오실로스코프에서 ed하거나 SMA 연결을 통해 외부 카운터에 연결합니다. SPDMA는 다이오드의 온도를 안정화하여 암흑 계수율을 줄이는 통합 열전기 냉각기(TEC) 요소를 갖추고 있습니다. 이를 통해 높은 광자 검출 효율을 제공하고 fW까지의 전력 레벨을 검출할 수 있습니다. 다이오드는 또한 높은 계수율을 위한 능동 퀀칭 회로를 통합합니다. 출력 신호는 게인 조정 나사를 사용하여 최적화할 수 있습니다.

검출기는 TTL Trigger IN 신호를 사용하여 외부에서 트리거하여 단일 광자 검출을 위한 시간 프레임을 선택할 수 있습니다. 직경이 500mm인 다이오드의 비교적 큰 활성 영역으로 인해 광학 정렬이 더 쉬워집니다. 다이오드는 입력 조리개와 동심원이 되도록 공장에서 정렬되어 고품질 성능을 보장합니다. SPDMA는 Thorlabs 1인치 렌즈 튜브 및 Thorlabs 30mm 케이지 시스템과 호환되어 광학 시스템에 유연하게 통합할 수 있습니다. 8-32 및 M4 콤비 나사산 장착 구멍을 사용하여 미터법 또는 영국식 단위로 장착할 수 있습니다. 이 제품에는 외부 나사산을 내부 나사산으로 조정하는 SM1T1 SM1 커플러와 SM1RR 고정 링 및 재사용 가능한 보호 플라스틱 커버 캡이 포함되어 있습니다.

제품 사용 지침
설치

1. 귀하의 설정에 적합한 장착 시스템(미터법 또는 영국식 단위)을 확인하세요.
2. SPDMA를 선택한 시스템의 장착 구멍에 맞춥니다.
3. 적합한 나사나 볼트를 사용하여 SPDMA를 단단히 고정하세요.

설정

1. 제공된 사양에 따라 SPDMA를 전원 공급 장치에 연결하세요.
2. 필요한 경우 SMA 연결부에 오실로스코프나 외부 카운터를 연결하여 출력 펄스 신호를 모니터링합니다.
3. 외부 트리거를 사용하는 경우 TTL 트리거 IN 신호를 SPDMA의 해당 입력 포트에 연결합니다.
4. TEC(Thermo Electric Cooler) 소자가 작동 온도에 도달할 수 있도록 충분한 시간을 두어 다이오드의 온도가 안정화되도록 합니다.
5. 게인 조정 나사를 사용하여 필요한 게인 조정을 수행하여 출력 신호를 최적화합니다.

작동 원리
SPDMA는 냉각된 실리콘 애벌랜치 포토다이오드를 사용하여 들어오는 광자를 TTL 펄스 신호로 변환하여 작동합니다. 다이오드에 통합된 능동 퀀칭 회로는 높은 카운트 속도를 가능하게 합니다. TTL 트리거 IN 신호는 특정 시간 프레임 내에서 단일 광자의 감지를 외부에서 트리거하는 데 사용할 수 있습니다.
메모: 문제 해결, 기술 데이터, 성능 플롯, 치수, 안전 예방 조치, 인증 및 규정 준수, 보증, 제조업체 연락처 정보 등에 대한 자세한 내용은 항상 Thorlabs GmbH에서 제공하는 사용 설명서 및 안전 지침을 참조하세요.

저희는 광학 측정 기술 분야에서 귀사의 애플리케이션을 위한 최상의 솔루션을 개발하고 생산하는 것을 목표로 합니다. 귀사의 기대에 부응하고 제품을 지속적으로 개선하기 위해 귀사의 아이디어와 제안이 필요합니다. 저희와 저희의 국제 파트너는 귀사의 연락을 기다리겠습니다.

경고
이 기호가 표시된 섹션에서는 부상이나 사망을 초래할 수 있는 위험을 설명합니다. 표시된 절차를 수행하기 전에 항상 관련 정보를 주의 깊게 읽으십시오.

주목
이 기호로 시작하는 문단은 기기와 연결된 장비를 손상시키거나 데이터 손실을 일으킬 수 있는 위험을 설명합니다. 이 설명서에는 이 양식에 쓰여진 "참고"와 "힌트"도 포함되어 있습니다. 이 조언을 주의 깊게 읽어보세요!

일반 정보

Thorlabs의 SPDMA 단일 광자 검출기는 350~1100nm의 파장 범위에 특화된 냉각 실리콘 눈사태 광전 다이오드를 사용하며 최대 감도는 600nm입니다. 들어오는 광자는 검출기에서 TTL 펄스로 변환됩니다. SMA 연결은 모듈에서 직접 출력되는 펄스 신호를 제공하며, view오실로스코프에서 ed하거나 외부 카운터에 연결합니다. 통합 Thermo Electric Cooler(TEC) 소자는 다이오드의 온도를 안정화하여 암흑 계수율을 줄입니다. 낮은 암흑 계수율과 높은 광자 검출 효율로 fW까지의 전력 레벨을 검출할 수 있습니다. SPDMA의 다이오드에 통합된 능동 퀀칭 회로는 높은 계수율을 가능하게 합니다. 게인 조정 나사를 사용하여 연속 조정을 통해 출력 신호를 더욱 최적화할 수 있습니다. TTL 트리거 IN 신호를 사용하여 SPDMA를 외부에서 트리거하여 단일 광자를 검출하기 위한 시간 프레임을 선택할 수 있습니다. 직경이 500mm인 다이오드의 비교적 큰 활성 영역으로 인해 광학 정렬이 간소화됩니다. 다이오드는 공장에서 입력 조리개와 동심원이 되도록 능동적으로 정렬되어 이 장치의 높은 품질을 더합니다. 광학 시스템에 유연하게 통합하기 위해 SPDMA는 Thorlabs 1인치 렌즈 튜브와 Thorlabs 30mm 케이지 시스템을 모두 수용합니다. SPDMA는 8-32 및 M4 콤비 나사산 장착 구멍으로 인해 미터법 또는 영국식 단위로 장착할 수 있습니다. 이 제품에는 외부 나사산을 내부 나사산에 맞게 조정하고 SM1RR 고정 링과 재사용 가능한 보호 플라스틱 커버 캡을 고정하는 SM1T1 SM1 커플러가 포함되어 있습니다. 또 다른 이점tagSPDMA는 원치 않는 주변광으로 인해 손상되지 않는다는 점인데, 이는 많은 광전증배관에 필수적입니다.

주목
부록의 안전 장에서 이 제품과 관련된 모든 안전 정보 및 경고를 찾아보십시오.

주문 코드 및 액세서리

SPDMA 단일 광자 검출기, 350nm – 1100nm, 활성 영역 직경 0.5mm, 8-32 및 M4 나사산과 호환되는 콤비 나사산 장착 구멍

포함된 액세서리

• 전원 공급 장치(±12V, 0.3A / 5V, 2.5A)
• SM1RR SM2 고정 링이 있는 포함된 SM1T1 SM1 커플러의 플라스틱 커버 캡(품목 번호 SM1EC1B).

옵션 액세서리

• 모든 Thorlabs 내부 또는 외부 SM1(1.035″-40) 나사산 액세서리는 SPDMA와 호환됩니다.
• 30 mm 케이지 시스템은 SPDMA에 장착될 수 있습니다.
• 홈페이지를 방문 해주세요 http://www.thorlabs.com 파이버 어댑터, 포스트 및 포스트 홀더 등 다양한 액세서리, 데이터 시트 및 추가 정보를 확인하세요.

시작하기

부품 목록
운송 컨테이너에 손상이 있는지 검사하세요. 보관이나 반품에 상자가 필요할 수 있으므로 골판지를 절단하지 마세요. 운송 컨테이너가 손상된 것으로 보이면 내용물을 검사하여 완전성을 확인하고 SPDMA를 기계적, 전기적으로 테스트할 때까지 보관하세요. 패키지에 다음 항목이 포함되어 있는지 확인하세요.

SPDMA 단일 광자 검출기
SM1RR-SM2이 있는 SM1T1-SM1 커플러의 플라스틱 커버 캡(품목 # SM1EC1B)

고정 링
전원 공급 장치(±12V, 0.3 A / 5 V, 2.5 A) 및 전원 코드, 주문 국가에 따른 커넥터

빠른 참조

작동 지침
작동 요소

설치
광학 테이블에 SPDMA 장착 장치의 왼쪽, 오른쪽 및 바닥에 있는 세 개의 탭 장착 구멍 중 하나를 사용하여 SPDMA를 광학 포스트에 장착합니다. 콤비 스레드 탭 구멍은 8-32 및 M4 스레드를 모두 수용하므로 영국식 또는 미터법 TR 포스트를 사용할 수 있습니다.

외부 광학 장치 장착
고객 시스템은 외부 SM1 나사산 또는 4mm 케이지 시스템의 40-30 장착 구멍을 사용하여 부착 및 정렬할 수 있습니다. 위치는 작동 요소 섹션에 표시되어 있습니다. 외부 SM1 나사산은 Thorlabs의 SM1 나사산(1.035″-40) 어댑터를 수용하며, 이는 외부 광학 장치, 필터, 조리개, 파이버 어댑터 또는 렌즈 튜브와 같은 Thorlabs 1″ 나사산 액세서리와 호환됩니다. SPDMA는 외부 나사산을 SM1 내부 나사산에 맞게 조정하는 SM1T1 SM1 커플러와 함께 제공됩니다. 커플러의 고정 링은 보호 커버 캡을 고정합니다. 필요한 경우 커플러를 풀어주세요. 액세서리에 대한 자세한 내용은 web사이트를 방문하거나 Thorlabs에 문의하세요.

설정
SPDMA를 장착한 후 다음과 같이 감지기를 설정하세요.

1. 포함된 전원 공급 장치를 사용하여 SPDMA에 전원을 켜세요.
2. 장비 측면의 토글 버튼을 사용하여 SPDMA를 켭니다.
3. 상태 LED에서 덮개를 눌러 상태를 확인하세요.
4.  빨간색: 전원 공급 장치에 연결되면 LED가 처음에 빨간색으로 켜지며, 이는 연결과 감지기가 작동 온도에 도달할 때까지 기다려야 함을 나타냅니다.
5. 몇 초 이내에 다이오드가 냉각되고 상태 LED가 녹색으로 바뀝니다. 다이오드 온도가 너무 높으면 상태 LED가 빨간색으로 돌아갑니다. LED가 빨간색이면 펄스 출력으로 신호가 전송되지 않습니다.
6. 녹색: 감지기가 작동할 준비가 되었습니다. 다이오드는 작동 온도에 있으며 신호가 펄스 출력에 도착합니다.

메모
작동 온도가 너무 높을 때마다 상태 LED가 빨간색으로 바뀝니다. 충분한 통풍을 유지하세요. LED 조명이 측정을 방해하지 않도록 상태 LED 앞으로 덮개를 다시 밀어 넣으세요. 광자 검출 효율을 높이려면 슬롯형 스크루드라이버(1.8~2.4mm, 0.07인치~3/32인치)로 게인 조정 나사를 돌립니다. 게인에 대한 자세한 내용은 작동 원리 장을 참조하세요. 낮은 다크 카운트 속도가 중요한 경우 최소 게인을 사용하세요. 이는 광자 검출 효율이 낮아지는 대가를 치릅니다. 최대한 많은 광자를 수집하는 것이 바람직한 경우 최대 게인을 사용하세요. 이는 더 높은 다크 카운트 속도의 대가를 치릅니다. 광자 검출과 신호 출력 사이의 시간은 게인 설정에 따라 달라지므로 게인 설정을 변경한 후 이 매개변수를 다시 평가하세요.

메모
"Trigger In"과 "Pulse Out"은 50W 임피던스입니다. 트리거 펄스 소스가 50W 부하에서 작동할 수 있는지, "Pulse Out"에 연결된 장치가 50W 입력 임피던스에서 작동하는지 확인하십시오.

작동 원리
Thorlabs SPDMA는 역방향으로 작동하고 파괴 임계값 vol을 약간 넘어 바이어스된 실리콘 애벌랜치 포토다이오드(Si APD)를 사용합니다.tage VBR(아래 다이어그램 참조, 지점 A), 눈사태 vol로도 알려짐tage. 이 작동 모드는 "가이거 모드"라고도 합니다. 가이거 모드의 APD는 광자가 도착하여 PD 접합부에서 자유 전하 캐리어를 생성할 때까지 준안정 상태를 유지합니다. 이러한 자유 전하 캐리어는 눈사태(B 지점)를 유발하여 상당한 전류를 발생시킵니다. APD에 통합된 능동 퀀칭 회로는 파괴를 방지하기 위해 APD를 통과하는 전류를 제한하고 바이어스 볼륨을 낮춥니다.tage는 분해도 아래의 볼륨입니다.tage VBR(포인트 C)은 광자가 눈사태를 방출한 직후에 발생합니다. 이를 통해 최대 이득에서 지정된 데드 타임까지 카운트 사이의 데드 타임을 갖는 높은 카운트 속도가 가능합니다. 그 후, 바이어스 볼륨tage가 복원됩니다.

다이오드의 데드 타임이라고 알려진 퀀칭 타임 동안 APD는 다른 유입 광자에 민감하지 않습니다. 다이오드가 준안정 상태에 있는 동안 자발적으로 트리거된 눈사태가 가능합니다. 이러한 자발적 눈사태가 무작위로 발생하는 경우 이를 다크 카운트라고 합니다. 통합된 TEC 소자는 다이오드의 온도를 주변 온도보다 낮게 안정화하여 다크 카운트율을 줄입니다. 이를 통해 팬이 필요 없게 되고 기계적 진동이 방지됩니다. 자발적으로 트리거된 눈사태가 광자에 의해 발생한 펄스와 시간적으로 상관 관계가 있는 경우 이를 애프터펄스라고 합니다.
메모
APD 특성으로 인해 모든 단일 광자가 감지되지 않을 수 있습니다. 그 이유는 APD의 퀀칭 중 고유한 데드 타임과 LAPD의 비선형성 때문입니다.

이득 조정
게인 조정 나사를 사용하여 오버볼륨을tage 브레이크다운을 넘어서 voltage는 SPDMA로 조정할 수 있습니다. 이렇게 하면 광자 감지 효율이 높아지지만 암흑 계수율도 높아집니다. 애프터펄싱의 확률은 이득 설정이 높을수록 약간 높아지고 이득을 조정하면 광자 감지와 신호 출력 사이의 시간에도 영향을 미칩니다. 데드 타임은 이득이 감소함에 따라 증가합니다.

블록 다이어그램 및 트리거 IN

들어오는 광자에 의해 생성된 전류 펄스는 펄스 셰이핑 회로를 통과하는데, 이는 APD의 출력 TTL 펄스 지속 시간을 단축합니다. "Pulse Out" 단자에서 펄스 셰이퍼의 신호가 적용되어 카운트를 할 수 있습니다. view오실로스코프에서 측정하거나 외부 카운터에서 등록합니다. 트리거가 없는 경우 게이트가 닫히고 신호가 출력됩니다. 게인은 바이어스(오버볼륨)를 변경합니다.tage) APD에서. 바이어스는 활성 담금질 요소를 통해 물리적으로 안내되지만 활성 담금질에는 영향을 미치지 않습니다.

TTL 트리거
TTL 트리거는 펄스 출력의 선택적 활성화를 허용합니다. 높은 트리거 입력(기술 데이터에 지정됨)에서 신호는 펄스 아웃에 도착합니다. 외부 TTL 신호가 트리거로 적용되지 않을 때마다 이것이 기본값입니다. TTL 트리거 입력 신호가 사용될 때마다 기본 TTL 입력은 "낮음"이어야 합니다. 광자 감지 신호는 트리거 입력 볼륨으로 펄스 아웃에 전송됩니다.tage는 "High"로 전환됩니다. High 및 Low 신호는 기술 데이터 섹션에 지정되어 있습니다.
메모
"Trigger In"과 "Pulse Out"은 50W 임피던스입니다. 트리거 펄스 소스가 50W 부하에서 작동할 수 있는지, "Pulse Out"에 연결된 장치가 50W 입력 임피던스에서 작동하는지 확인하십시오.

유지 보수 및 서비스

SPDMA를 악천후로부터 보호하세요. SPDMA는 방수가 아닙니다.

주목
기기의 손상을 방지하려면 스프레이, 액체 또는 용매에 노출시키지 마십시오! 이 장치는 사용자가 정기적으로 유지 관리할 필요가 없습니다. 사용자가 수리할 수 있는 모듈 및/또는 구성 요소가 포함되어 있지 않습니다. 오작동이 발생하면 Thorlabs에 문의하여 반품 지침을 받으십시오. 덮개를 제거하지 마십시오!

문제 해결

APD 과열 표시 온도 제어 회로가 APD의 실제 온도가 설정점을 초과했음을 인식했습니다. 정상적인 작동 조건에서는 장기 작동 후에도 이런 일이 발생하지 않아야 합니다. 그러나 지정된 작동 온도 범위를 초과하거나 감지기에 과도한 열 복사가 발생하면 과열 경고가 발생할 수 있습니다. 상태 LED가 빨간색으로 바뀌어 과열을 나타냅니다. 장치 주변에 충분한 공기 흐름을 확보하거나 외부 수동 ​​냉각을 제공하십시오.

충수
기술 데이터
모든 기술 데이터는 상대 습도 45 ± 15%(비응축)에서 유효합니다.

1. TTL 신호가 없는 경우 기본값은 > 2V로, 펄스 출력으로 신호를 허용합니다. 검출기 동작은 0.8V와 2V 사이에서 정의되지 않습니다.
2. 비응축

정의
활성 퀀칭은 빠른 판별기가 광자에 의해 방출되는 눈사태 전류의 급격한 시작을 감지하고 바이어스 볼륨을 빠르게 줄일 때 발생합니다.tage는 잠시 동안 고장 아래에 있도록 합니다. 그런 다음 바이어스는 고장 볼륨 위의 값으로 돌아갑니다.tag다음 광자를 감지하기 위한 준비 단계. 애프터펄싱: 눈사태 동안 일부 전하가 고자기장 영역 내부에 갇힐 수 있습니다. 이러한 전하가 방출되면 눈사태를 유발할 수 있습니다. 이러한 잘못된 이벤트를 애프터펄스라고 합니다. 갇힌 전하의 수명은 0.1μs에서 1μs 정도입니다. 따라서 애프터펄스는 신호 펄스 직후에 발생할 가능성이 높습니다.

데드 타임은 검출기가 회복 상태에서 보내는 시간 간격입니다. 이 시간 동안은 들어오는 광자를 효과적으로 감지하지 못합니다. 다크 카운트율: 이는 입사광이 없는 상태에서 등록된 카운트의 평균 속도이며 신호가 주로 실제 광자에 의해 발생하는 최소 카운트율을 결정합니다. 거짓 감지 이벤트는 대부분 열적 원인이므로 냉각된 검출기를 사용하면 강력하게 억제할 수 있습니다. 가이거 모드: 이 모드에서 다이오드는 파괴 임계값 vol보다 약간 위에서 작동합니다.tage. 따라서 단일 전자-홀 쌍(광자 흡수 또는 열 변동에 의해 생성됨)이 강한 눈사태를 유발할 수 있습니다. 이득 조정 계수: 이것은 이득을 증가시킬 수 있는 계수입니다. APD의 포화: APD의 광자 수는 입사 광학 CW 전력에 정확히 선형적으로 비례하지 않습니다. 편차는 광학 전력이 증가함에 따라 부드럽게 증가합니다. 이러한 비선형성으로 인해 높은 입력 전력 수준에서 잘못된 광자 수가 발생합니다. 특정 입력 전력 수준에서 광자 수는 광학 전력이 더 증가함에 따라 감소하기 시작합니다. 전달된 각 SPDMA는 이와 유사한 적절한 포화 동작에 대해 테스트됩니다.amp르.

성능 플롯
일반적인 광자 감지 효율

펄스 아웃 신호

차원

안전
장비를 통합한 모든 시스템의 안전은 시스템 조립자의 책임입니다. 이 사용 설명서에 있는 작동 안전 및 기술 데이터에 대한 모든 진술은 장치가 설계된 대로 올바르게 작동하는 경우에만 적용됩니다. SPDMA는 폭발 위험이 있는 환경에서 작동해서는 안 됩니다! 하우징의 통풍구를 막지 마십시오! 덮개를 제거하거나 캐비닛을 열지 마십시오. 내부에는 사용자가 수리할 수 있는 부품이 없습니다! 이 정밀 장치는 판지 삽입물을 포함한 완전한 원래 포장재에 반환하여 적절히 포장한 경우에만 수리할 수 있습니다. 필요한 경우 교체 포장재를 요청하십시오. 수리는 자격을 갖춘 담당자에게 의뢰하십시오! 이 장치를 변경하거나 Thorlabs에서 제공하지 않은 구성 요소를 Thorlabs의 서면 동의 없이 사용할 수 없습니다.

주목
SPDMA에 전원을 공급하기 전에 3도체 주 전원 코드의 보호 도체가 소켓 콘센트의 보호 접지 접점에 올바르게 연결되어 있는지 확인하십시오! 부적절한 접지는 감전을 일으켜 건강에 해를 끼치거나 사망에 이를 수 있습니다! 모든 모듈은 적절하게 차폐된 연결 케이블로만 작동해야 합니다.

주목
다음 진술은 본 설명서에 명시된 경우를 제외하고 이 설명서에 포함된 제품에 적용됩니다. 다른 제품에 대한 진술은 해당 첨부 문서에 나타납니다.
메모
이 장비는 FCC 규정 제15부에 따라 클래스 B 디지털 기기의 제한 사항을 준수하는 것으로 테스트되었으며, 디지털 기기에 대한 캐나다 간섭 유발 장비 표준 ICES-003의 모든 요구 사항을 충족합니다. 이러한 제한 사항은 주거 시설에서 유해한 간섭으로부터 합리적인 보호를 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비는 무선 주파수 에너지를 생성, 사용 및 방출할 수 있으며, 지침에 따라 설치 및 사용하지 않으면 무선 통신에 유해한 간섭을 일으킬 수 있습니다. 그러나 특정 설치에서 간섭이 발생하지 않을 것이라는 보장은 없습니다. 이 장비가 라디오 또는 텔레비전 수신에 유해한 간섭을 일으키는 경우(장비를 끄고 켜서 확인할 수 있음) 사용자는 다음 조치 중 하나 이상을 수행하여 간섭을 수정하는 것이 좋습니다.

• 수신 안테나의 방향을 바꾸거나 위치를 바꾸세요.
• 장비와 수신기 사이의 거리를 넓힙니다.
• 수신기가 연결된 것과 다른 회로의 콘센트에 장비를 연결하세요.
• 도움이 필요하면 딜러나 숙련된 라디오/TV 기술자에게 문의하세요.
• 사용자가 본 설명서에 설명된 제품을 Thorlabs(준수에 대한 책임이 있는 당사자)의 명확한 승인 없이 변경 또는 수정하는 경우 장비를 작동하는 사용자의 권한이 무효화될 수 있습니다.

Thorlabs GmbH는 이 장비의 개조 또는 Thorlabs에서 지정한 것 이외의 연결 케이블 및 장비의 교체 또는 부착으로 인해 발생하는 모든 무선 텔레비전 간섭에 대해 책임을 지지 않습니다. 이러한 무단 개조, 교체 또는 부착으로 인해 발생하는 간섭의 수정은 사용자의 책임입니다. 이 장비를 모든 옵션 주변 장치 또는 호스트 장치에 연결할 때는 차폐형 I/O 케이블을 사용해야 합니다. 그렇지 않으면 FCC 및 ICES 규칙을 위반할 수 있습니다.

주목
이 장치의 61326m 범위 내에서는 휴대전화, 셀룰러폰 또는 기타 무선 송신기를 사용해서는 안 됩니다. 그러면 전자기장 강도가 IEC 1-61326에 따른 최대 허용 교란 값을 초과할 수 있기 때문입니다. 이 제품은 1m(3피트) 미만의 연결 케이블을 사용하는 경우 IEC 9.8-XNUMX에 따른 제한을 준수하는 것으로 테스트 결과 확인되었습니다.

인증 및 규정 준수

보증

문서 / 리소스

Thorlabs SPDMA 단일 광자 감지 모듈 [PDF 파일] 사용자 매뉴얼 SPDMA 단일 광자 검출 모듈, SPDMA, 단일 광자 검출 모듈, 광자 검출 모듈, 검출 모듈, 모듈

참고문헌

• 사용자 설명서