4200A-SCS 型参数分析仪快速入门指南

安全预防措施

使用本产品及任何相关仪器前，应遵守以下安全预防措施。虽然有些仪器和配件通常与无害的卷一起使用，但tag但是，有些情况下可能会出现危险情况。
本产品旨在供认识到电击危险并熟悉避免可能的伤害所需的安全预防措施的人员使用。 在使用产品之前，请仔细阅读并遵循所有安装、操作和维护信息。 有关完整的产品规格，请参阅用户文档。
如果以未指定的方式使用产品，则产品保修提供的保护可能会受到影响。
产品用户的类型有：
负责机构 是负责设备使用和维护、确保设备在其规格和操作限制范围内操作以及确保操作员接受充分培训的个人或团体。
运算符 将产品用于其预期功能。 他们必须接受电气安全程序和仪器正确使用方面的培训。 必须保护它们免受电击和与危险带电电路的接触。
维护人员 对产品执行常规程序以保持其正常运行，例如ample，设置行 voltage 或更换耗材。 用户文档中描述了维护程序。 程序明确指出，如果
操作员可以执行它们。 否则，只能由服务人员执行。
服务人员经过培训，可以在带电电路上工作、执行安全安装和维修产品。 只有经过适当培训的维修人员才能执行安装和维修程序。
Keithley 产品设计用于测量、控制和数据 I/O 连接的电信号，具有低瞬态过电压tages，并且不得直接连接到主电源tage 或卷tag具有高瞬态过电压的电源tages. 测量
II 类（在 IEC 60664 中引用）连接需要针对高瞬态的保护

过卷tag通常与本地交流电源连接有关。某些 Keithley 测量仪器可能连接到电源。这些仪器将被标记为 II 类或更高。
除非在规格、操作手册和仪器标签中明确允许，否则不要将任何仪器连接到电源。
存在电击危险时，请格外小心。致命卷tage 可能出现在电缆连接器插孔或测试夹具上。 美国国家标准协会 (ANSI) 指出，当电压达到tage 电平大于 30 V RMS，42.4 V 峰值，
或 60 VDC。 一个好的安全实践是期望危险的体积tag测量前，任何未知电路中都存在 e。
必须始终保护本产品的操作员免受电击。 负责机构必须确保操作员无法进入和/或与每个连接点绝缘。 在某些情况下，连接必须暴露于潜在的人类接触中。
在这些情况下，产品操作员必须接受培训，以保护自己免受电击风险。 如果电路能够在 1000 V 或更高电压下运行，则电路的导电部分不得暴露。
不要将开关卡直接连接到无限电源电路。 它们旨在与阻抗受限的源一起使用。 切勿将开关卡直接连接到交流电源。 将电源连接到开关卡时，安装保护装置以限制故障电流和电压tage 到卡。
在操作仪器之前，请确保电源线已连接到正确接地的电源插座。 每次使用前检查连接电缆、测试导线和跳线是否有磨损、裂纹或断裂。
在主电源线受限的地方安装设备（例如机架安装）时，必须在靠近设备且操作员容易够到的地方提供单独的主输入电源断开装置。
为获得最大安全性，当被测电路通电时，请勿触摸产品、测试电缆或任何其他仪器。 在连接或断开电缆或跳线、
安装或拆除交换卡，或进行内部更改，例如安装或拆除跳线。

请勿触摸任何可能为被测电路的公共侧或电源线（接地）地提供电流路径的物体。 始终用干燥的手进行测量，同时站在能够承受电压的干燥、绝缘的表面上tag正在测量。
为安全起见，必须按照操作说明使用仪器和附件。 如果未按照操作说明中指定的方式使用仪器或附件，则可能会削弱设备提供的保护。
不要超过仪器和附件的最大信号电平。 最大信号电平在规格和操作信息中定义，并显示在仪表板、测试纹理面板和开关卡上。
在产品中使用熔断器时，请将它们更换为相同类型和额定值的熔断器，以继续防止火灾危险。
底盘连接只能用作测量电路的屏蔽连接，而不能用作保护接地（安全接地）连接。
如果您使用的是 test fi 纹理，请在对被测设备通电时保持盖子关闭。 安全操作需要使用盖子联锁装置。
如果有螺钉，请使用用户文档中推荐的电线将其连接到保护接地（安全接地）。
这 仪器上的符号表示小心、危险。 在仪器上标有符号的所有情况下，用户都必须参考用户文档中的操作说明。
这 仪器上的符号表示警告、触电危险。 使用标准的安全预防措施避免与这些卷的个人接触tag西。
这 仪器上的符号表示表面可能很热。 避免个人接触以防止灼伤。
这 符号表示设备框架的连接端子。
如果 符号在产品上，表示显示屏中存在汞amp. 请注意，lamp 必须根据联邦、州和地方法律妥善处置。

这 警告 用户文档中的标题解释了可能导致人身伤害或死亡的危险。 在执行指示的程序之前，请务必仔细阅读相关信息。
这 警告 用户文档中的标题解释了可能损坏仪器的危险。 此类损坏可能会使保修失效。
这 警告 与 用户文档中的符号说明了可能导致中度或轻微伤害或损坏仪器的危险。 在执行指示的程序之前，请务必仔细阅读相关信息。 仪器损坏可能会使保修失效。
仪器仪表及附件不得与人体接触。
在进行任何维护之前，请断开电源线和所有测试电缆。
为防止电击和火灾，必须从 Keithley 购买电源电路中的替换组件（包括电源变压器、测试线和输入插孔）。 如果额定值和类型相同，则可以使用具有适用国家安全认证的标准熔断器。 仪器随附的可拆卸电源线只能更换为类似额定值的电源线。 其他与安全无关的组件可以从其他供应商处购买，只要它们与原始组件等效（请注意，所选零件只能通过吉时利购买，以保持产品的准确性和功能性）。 如果您不确定更换组件的适用性，请致电吉时利办事处获取信息。
除非产品特定文献中另有说明，否则 Keithley 仪器仅设计用于在以下环境中的室内操作： 海拔等于或低于 2,000 m (6,562 ft)； 温度 0 °C 至 50 °C（32 °F 至 122 °F）； 和污染等级 1 或 2。
要清洁乐器，请使用布 damp用去离子水或温和的水基清洁剂清洗。 仅清洁仪器外部。 请勿将清洁剂直接涂抹在仪器上或让液体进入或溅到仪器上。 如果按照说明进行处理，则由没有外壳或机箱的电路板组成的产品（例如，用于安装到计算机中的数据采集板）不应需要清洁。 如果电路板被污染并影响操作，电路板应返回工厂进行适当的清洁/维修。
截至 2017 年 XNUMX 月的安全预防措施修订。

安全

功率和环境等级
仅适合室内使用。

电源	100 伏交流电至 240 伏交流电，50 赫兹至 60 赫兹
最大VA	1000 伏安
工作海拔	最高海拔 2000 m (6562 ft)
工作温度	+10°C 至 +40°C， 5% 至 80% 相对湿度，无凝结
存储温度	-15°C 至 60°C， 5% 至 90% 相对湿度，无凝结

警告

在将仪器连接到可以提供能量的设备之前，请仔细考虑和配置适当的输出关闭状态、源电平和合规电平。 不考虑输出关闭状态、源电平和合规电平可能会损坏仪器或被测设备。

介绍
4200A-SCS 和嵌入式 Clarius 软件提供清晰、不折不扣的测量和分析。 4200A-SCS 提供数百种即用型应用测试tage (IV), 电容-voltage (CV) 和超快脉冲 IV 表征。 Clarius 用户界面为现代半导体、材料和工艺表征的高级测试定义、参数分析、绘图和自动化功能提供触摸和滑动或点击控制。
有关其他支持信息，请访问 tek.com/keithley。
4200A-SCS 文档包括：

• 快速入门指南： 这个文件。 它提供开箱说明，描述基本连接，重新views 基本操作信息，并提供快速测试程序以确保仪器正常运行。
•  克莱瑞斯手册： 提供有关项目、测试、数据分析、数据计算、用户库和自定义 Clarius 的综合信息。

• 用于设置和维护、源测量单元 (SMU)、电容卷的硬件手册tage 单元 (CV)、脉冲测量单元 (PMU) 和脉冲发生器单元 (GPU)，以及探测器和外部仪器控制。
• LPT 库、吉时利用户库工具 (KULT) 和吉时利外部控制接口 (KXCI) 的编程指南。
有关 4200A-SCS 的完整文档，请参阅 4200A-SCS 学习中心. 学习中心包含教学视频、PDF 和 HTML 内容。 要访问学习中心，请单击 Clarius 菜单中的帮助，在使用 Clarius 时按 F1，或选择桌面图标。

介绍

打开包装并检查仪器
打开包装并检查仪器：

1. 检查盒子是否有损坏。
2. 打开盒子的顶部。
3.  取出文档、标准附件以及可选附件和包装插页。
4.  小心地将仪器从包装箱中取出。
5.  检查仪器是否有任何明显的物理损坏迹象。 立即向运输代理报告任何损坏。

警告

4200A‑SCS 重约 27 千克（60 磅），需要两人抬起。

警告
请勿使用前挡板提起 4200A‑SCS。

您应该已经收到 4200A-SCS 参数分析仪和快速入门指南（本文档）并且：

• 键盘
•  老鼠
•  电源线
•  安全联锁电缆
•  4200-TRX-2 超低噪声三轴电缆（两条）
  有关仪器可能附带的其他物品，请参阅装箱单。 连接仪器
  重要的测试系统安全信息
  该系统包含可能产生危险体积的仪器tages. 测试系统安装人员、维护人员和服务人员有责任确保系统在使用过程中安全并正常运行。 您还必须意识到，在许多测试系统中，即使系统指示不存在危险，单个故障（例如软件错误）也可能输出危险信号电平。
  在系统设计和使用中考虑以下因素很重要：
• 国际安全标准 IEC 61010-1 定义了 voltag如果它们超过 30 VRMS 和 42.4 VPEAK 或 60 V dc（对于额定用于干燥场所的设备），则视为危险。 Keithley Instruments 产品仅适用于干燥场所。
•  阅读并遵守系统中所有仪器的规格。 总体允许的信号电平可能受系统中额定值最低的仪器的限制。 前任ample，如果您使用带有 500 V dc 额定开关的 300 V 电源，则最大允许电压tag系统中的 e 为 300 V dc。
• 盖住被测设备 (DUT) 以在系统或 DUT 发生故障时保护操作员免受飞溅碎片的影响。
• 确保连接到系统的任何测试夹具保护操作员免于接触危险卷tages、热表面和尖锐物体。 使用屏蔽、屏障、绝缘和安全联锁来实现这一点。
•  对操作员可以接触的所有电气连接进行双重绝缘。 双重绝缘确保即使一层绝缘层失效，操作员仍然受到保护。 有关特定要求，请参阅 IEC 61010-1。
• 确保所有连接都在锁定的柜门或其他屏障后面。 这可以防止系统操作员意外地手动移除连接并暴露危险的卷tages. 当测试夹具盖打开时，使用高可靠性的故障安全联锁开关断开电源。
• 在可能的情况下，使用自动处理程序，以便操作员无需进入 DUT 或其他潜在危险区域。
•  为系统的所有用户提供培训，让他们了解所有潜在的危险并知道如何保护自己免受伤害。
• 在许多系统中，在上电期间，输出可能处于未知状态，直到它们被正确初始化。 确保设计可以承受这种情况，而不会造成操作员受伤或硬件损坏。

开箱

笔记
为确保用户安全，请务必阅读并遵守系统中每台仪器提供的所有安全警告。

安装仪器
4200A-SCS 可在工作台或机架中使用。 如果您在机架中安装 4200A-SCS，请参阅机架安装套件随附的说明。

联锁接线
如果你需要卷tages 大于 ±40 V 进行测试，您必须在夹具上添加一个互锁开关。 这确保了危险的体积tag当灯具的外壳打开时，es 不存在。 它还使 4200A-SCS 能够输出更高的音量tages 当灯具的外壳关闭时。
当安全联锁信号有效时（开关闭合且信号连接到+12 V），所有的voltagSMU 的范围是功能性的。 当安全联锁信号未断言（开关打开）时，SMU 上的 200 V 范围被禁用，将标称输出限制为 ±40 V。
如果你需要卷tages 大于 ±40 V，您还必须将测试夹具外壳的外部连接到保护接地（安全接地）。 注意确保接线
（FORCE、GUARD 和 SENSE）在固定装置中不与外壳外部电气接触。

警告
4200A‑SCS 配备了一个互锁电路，该电路必须为高电压激活tag要启用的输出。 互锁有利于设备在测试系统中的安全操作。 绕过联锁装置会使操作员面临危险
卷tage 可能导致人身伤害或死亡。
断言互锁允许 SMU 和预amp接线端子变得危险，使用户可能遭受电击，从而导致人身伤害或死亡。 SMU 和预amp即使输出被编程为低音量，升压器端子也应被视为危险tage. 必须采取预防措施，以防止将测试设备和任何未受保护的引线（接线）围绕 250 V，类别 0 进行双重绝缘，从而防止电击危险。
有低音量tage和高音量tag4200A-SCS 的测试夹具。 低音量tagKeithley Instruments 8101-PIV 等夹具适用于低于 ±40 V 的应用。对于这些应用，不需要互锁。
对于大于 ±40 V 的应用，您可以使用高电压tage 测试夹具。 这些测试夹具有一个连接到盖子上的安全联锁开关。 当盖子关闭时，互锁电路关闭（断言），并且启用 SMU ±200 V 范围。
相反，当盖子打开且 SMU ±200 V 范围被禁用时，互锁电路打开（解除断言）。
高音量tag测试夹具需要额外的预防措施，以确保没有电击危险。
为使 4200A-SCS 正确运行，测试夹具应具有用于互锁的常开开关。 当开关打开时，会出现打开互锁条件。

连接

笔记
对于前任amp本快速入门指南中显示的文件，您不需要使用互锁。 4200A-SCS 可在所有电流范围和高达 ±40 V 的范围内运行，而无需断言互锁。 当互锁未断言时，最大 voltage 在 SMU 和预amp升压器端子没有危险。

连接互锁电缆：

1. 将提供的互锁电缆的一端连接到 4200A-SCS 的后面板。 位置如下图所示。
2. 将连接器的另一端连接到测试夹具。

测试连接
如果您要测试分立器件，则需要配备 3 接线片三轴连接器的测试夹具。 8101-PIV 测试夹具可从 Keithley Instruments 购买，允许将 4200A-SCS 连接到分立设备。
有关连接到用于晶圆测试的探针台的信息，请参阅 4200A-SCS 学习中心 .

打开 4200A‑SCS 的电源
4200A-SCS 从线路电压运行tage 为 100 V 至 240 V，频率为 50 Hz 至 60 Hz。 确保操作音量tage 在您所在的地区是兼容的。

警告
在错误的线路上操作仪器 voltage 可能会损坏仪器，可能会使保修失效。

笔记
如果您有 4200A-SCS-ND 型号，则必须使用远程通信来访问本文档中描述的软件功能。

警告
4200A‑SCS 型随附的电源线包含单独的保护接地（安全接地）线，用于接地插座。 正确连接后，仪器类通过电源线中的地线连接到电源线接地。 此外，通过后面板上的螺钉提供了冗余保护接地连接。 该端子应连接到已知的保护接地。 如果发生故障，未使用正确接地的保护地和接地插座可能会因触电而导致人身伤害或死亡。
请勿使用额定值不足的电源线更换可拆卸电源线。 未使用额定值正确的电源线可能会因触电而导致人身伤害或死亡。

打开 4200A-SCS 的电源：

1. 确保电源已关闭。 前面板右下角的电源开关在电源关闭时不亮。
2. 将电源线的公端插入正确接地的交流电源插座。
3. 按下电源开关打开 4200A-SCS。
   通电时开关点亮。
   仪器启动。

笔记
首次启动 Clarius+ 应用程序时，您必须对屏幕上的许可协议回答“是”。 回答“否”会使您的系统无法运行，直到您重新安装软件。

更改电力线频率
笔记
默认电力线频率设置为 60 Hz。 如果设置错误，4200A-SCS 将无法正确抑制电力线测量噪声。

更改电力线频率：

1. 关闭 Clarius。
2.  运行 KCon。
3.  从系统配置列表中，选择 4200A-SCS。
4. 根据需要更改电力线频率。
5. 选择保存 .

常见问题解答

我应该如何清洁和使用前面板显示屏？
如果您需要清洁前面板 LCD 触摸屏显示器，请使用柔软的干布。 如有必要，请使用超细纤维布amp用不含氨的玻璃清洁剂清洗。 请勿将清洁液喷到显示器上。 您也可以使用 70% 异丙醇和 30% 水的混合物。
请勿使用螺丝刀、钢笔或铅笔等尖锐物体触摸触摸屏。 强烈建议只用手指操作仪器。 触摸屏支持使用洁净室手套。
 我的数据看起来很奇怪或有误。 我该怎么办？
验证从仪器到测试夹具的连接。
此外，检查从 DUT 到测试夹具插座的连接。
我无法从 SMU 上拔下微型三轴电缆 (4200A‑MTRX)。 我该怎么办？
微型三轴连接器是一种锁定连接器。 要卸下它，请拉动 knurled 部分连接器背面。
检测到配置错误，我无法启动 Clarius。 我该怎么办？
当物理配置与 KCon 中定义的配置不匹配或仪器与 4200A-SCS 之间存在通信问题时，就会发生这种情况。
如果 pre 也可能发生错误amp升压器或 RPM 被移除或重新连接。 注意预amp升压器是 SMU 特定的。 前任ample，一个前amp为 SMU1 配置的放大器不能连接到 SMU2。
验证系统配置：

1. 运行 KCon。
2. 选择 证实。

要更新系统配置：

1.  运行 KCon。
2. 选择 更新.

后续步骤Next steps
查看 4200A-SCS 学习中心 ，它已预装在您的系统上。 要访问学习中心，请单击 Clarius 菜单中的帮助，在使用 Clarius 时按 F1，或选择桌面图标。
4200A-SCS 学习中心包括以下内容：

• 教学视频： 包含有关使用系统的基本和详细信息，可帮助您使用仪器。
• 克莱瑞斯手册： 提供有关项目、测试、数据分析、数据计算、用户库和自定义 Clarius 的综合信息。
• 硬件手册s 用于设置和维护、源测量单元 (SMU)、电容体积tage 单元 (CV)、脉冲测量单元 (PMU) 和脉冲发生器单元 (GPU)，以及探测器和外部仪器控制。
• P编程指南 用于 LPT 库、吉时利用户库工具 (KULT) 和吉时利外部控制接口 (KXCI)。
• 应用说明： 演示特定应用程序的详细应用程序。
• 数据表： 有关 4200A-SCS 和相关附件的技术数据。

看 tek.com/keithley 有关仪器的支持和其他信息。

常见问题和后续步骤

联系方式：1-800-833-9200
有关其他联系人，请参阅 https://www.tek.com/contact-us

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文件/资源

	泰克 4200A-SCS 参数分析仪 [pdf] 用户指南 4200A-SCS 参数分析仪
	泰克 4200A-SCS 参数分析仪 [pdf] 使用说明书 1KW-74176-0, 4200A-SCS 参数分析仪, 4200A-SCS, 参数分析仪, 分析仪

参考

• 用户手册