KEITHLEY 标志ACS 标准版
版本 6.2.1 发行说明KEITHLEY 4200A-SCS 自动化表征套件标准版软件吉时利仪器
28775 Aurora Road
俄亥俄州克利夫兰 44139
1-800-833-9200
tek.com/keithley

内容 隐藏
1 一般信息
2 支持的操作系统
3 ACS 标准修订历史
4 安装 ACS
5 支持的模型和测试配置
6 支持的通信接口
7 软件许可证
8 许可证管理
9 ACS 标准版本 6.2.1
10 已解决的问题
11 软件兼容性
12 使用说明
13 文件/资源
13.1 参考

一般信息

本文档介绍了添加到 Keithley Instruments Automation Characterization Suite (ACS) 标准版软件（版本 6.2.1）的功能。
Keithley Instruments ACS Standard Edition 软件支持封装部件的部件特性测试和使用探测器的晶圆级测试。 ACS 标准版软件可以安装在任何计算机上，包括吉时利仪器 4200A-SCS 型参数分析仪和 4200 型半导体表征系统 (4200-SCS)。

支持的操作系统

以下操作系统支持 ACS 标准版软件：
Microsoft Windows®
11、64 位
微软 Windows 10，64 位
微软 Windows
10、32 位
Microsoft Windows 7，64 位（带有 Service Pack 1）
Microsoft Windows 7，32 位（带有 Service Pack 1）

ACS 标准修订历史

版本 发布日期
6.2.1 2023 年 XNUMX 月
6.2 2022 年 XNUMX 月
6.1 2022 年 XNUMX 月
6 2021 年 XNUMX 月
5.4 2021 年 XNUMX 月
5.3 2017 年 XNUMX 月
5.2.1 2015 年 XNUMX 月
5.2 2014 年 XNUMX 月
5.1 2014 年 XNUMX 月
5 2013 年 XNUMX 月
4.4 2011 年 XNUMX 月
4.3.1 2011 年 XNUMX 月
4.3 2011 年 XNUMX 月
4.2.5 2010年XNUMX月XNUMX日
4.2 2010 年 XNUMX 月

安装 ACS

安装 ACS 软件：

  1. 以管理员身份登录到您的计算机。
  2. 打开 ACS 可执行文件 file.
  3. 如果您安装了旧版本的 ACS，请选择是。KEITHLEY 4200A-SCS 自动化表征套件标准版软件 - 图 1
  4. 按照说明指定您希望如何在系统上安装软件。

安装 ACS 的更新版本后，旧版本将被重命名。您可以使用以下步骤从以前的版本复制项目和库。
要复制和粘贴文件夹：

  1. 找到C:\ACS_DDMMYYYY_HHMMSS\Projects\文件夹； 复制并粘贴到当前 C:\ACS\Projects 文件夹。
  2. 找到C:\ACS_DDMMYYYY_HHMMSS\library\pyLibrary\PTMLib\文件夹； 复制并粘贴到当前 C:\ACS\library\pyLibrary\PTMLib\ 文件夹。
  3. 找到C:\ACS\DDMMYYYY_HHMMSS\library\26library\文件夹； 复制并粘贴到当前 C:\ACS\library\26library\ 文件夹。

笔记
ACS 6.2.1 基于 Python® 3.7 编程语言。如果您在早期版本的 ACS 中自定义了项目，则可能需要更改在早期版本的 ACS 中创建的项目，其中包括 Python 语言测试模块 (PTM) 脚本库。您可以到这个网站重新view Python 更改以获取更多详细信息： https://docs.python.org/3/whatsnew/3.7.html#porting-to-python-37
在 4200A-SCS 上安装应用程序
如果您在 4200A-SCS 参数分析仪上安装 ACS，您将看到以下对话框，指示安装时需要识别的应用程序。确保选择“不关闭应用程序”和“下一步”进行安装（参见下图）。如果选择自动关闭应用程序，则安装完成后必须重新启动计算机。KEITHLEY 4200A-SCS 自动化表征套件标准版软件 - 图 2在带有 NI-488.2 驱动程序的系统上安装应用程序
如果您要在包含 NI-488.2 驱动程序的系统上安装 ACS，您将看到以下对话框，指示安装时需要识别的应用程序。确保选择“不关闭应用程序”和“下一步”进行安装（参见下图）。如果选择自动关闭应用程序，则安装完成后必须重新启动计算机。  KEITHLEY 4200A-SCS 自动化表征套件标准版软件 - 图 3

支持的模型和测试配置

ACS 软件与以下吉时利仪器 (Keithley Instruments) 一起用于各种不同的测试配置。 ACS 基础参考手册（部件号 ACS-914-01）和 ACS 高级功能参考手册（部件号 ACS-908-01）包含有关支持的硬件和测试配置的详细信息。

  • 使用安装在个人计算机或笔记本电脑上的 ACS 软件，使用 2600B 系列系统 SourceMeter® 仪器和 2400 系列 SourceMeter® 仪器执行多组测试。
  • 使用安装在 4200A-SCS 型参数分析仪或 4200-SCS 型上的 ACS 软件控制硬件。
  • 使用 ACS 软件中的组合测试执行引擎，使用 4200A-SCS 参数分析仪或 4200-SCS 和 2600B 系列 SourceMeter® 仪器执行组合组测试。
  • 使用安装在个人电脑或笔记本电脑上的 ACS 软件控制其他外部 GPIB、LAN 或 USB 仪器。

下表总结了 ACS 测试库中支持的仪器。

乐器 类型 支持的型号
SMU仪器 2600B 系列：2601B-PULSE（仅限直流）、2601B、2602B、2604B、2611B、2612B、2614B、2634B、2635B、2636B
2600A 系列：2601A、2602A、2611A、2612A、2635A、2636A
2400 图形触摸屏系列 SMU (KI24XX TTI)：2450、2460、2460-NFP、2460-NFP-RACK、2460-RACK、2461、2461-SYS、2470
2400 标准系列 SMU：2401、2410、2420、2430、2440
2606B 高密度 SMU
适用于高功率的 2650 系列：2651A、2657A
参数分析仪 4200A 和以下模块： 4210-CVU、4215-CVU、4225-PMU/4225-RPM、4225-RPM-LR、4200-SM​​U、4201-SMU、4210-SMU、4211-SMU、4200-PA、4200A-CVIV
数字万用表 DMM6500、DMM7510、2010 系列
开关和数据采集系统 DAQ6510、707A/B、708A/B、3700A
脉冲发生器 3400 系列

ACS 支持以下探测器：

探针 手动探针显微操作器 8860 探针
Suss MicroTec PA200/Cascade CM300 探针台 Cascade 12000 探针台
Cascade S300 探针台 Electroglas EG2X 探针台 Electroglas EG4X 探针台 TEL P8/P12 探针台 TEL 19S 探针台
Tokyo Semitsu TSK9 (UF200/UF3000/APM60/70/80/90) 探针台 Wentworth Pegasus 300S 探针台，带 SRQ 检查功能 显微操作器 P300A 探针台
Yang Sagi3 探针，带 SRQ 检查 Signatone CM500 探针 (WL250) TEL T78S/80S 探针
MPI SENTIO 探针 Semiprobe SPFA 探针 MJC AP-80 探针
Apollowave AP200/AP300 探测器
Vector Semiconductor AX/VX 系列探测器

笔记
图形交互式测试模块 (ITM) 同时支持 24xx Touch Test Invent® (TTI) 系列仪器和 26xx 仪器。 24xx 仪器应作为主仪器连接，26xx 仪器应作为从属仪器连接。
您可以使用脚本测试模块 (STM) 脚本控制任何测试脚本处理器 (TSPTM) 仪器。您可以使用Python语言测试模块（PTM）脚本控制任何仪器，包括其他供应商的仪器。
此外，现有的 ACS STM 和 PTM 库支持基于库定义的特定仪器。

支持的通信接口

  • 通用接口总线
  • LAN（自动扫描和 LAN）
  • USB
  • RS-232

如果您使用 RS-232 连接，仪器不会自动添加到硬件配置中。您必须手动添加通过 RS-232 连接的仪器。更改硬件配置 file 它位于您计算机上的以下目录中：
C:\ACS\HardwareManagementTool\HWCFG_pref.ini。 在这个 file 您必须更改波特率、奇偶校验、字节和停止位设置。关于view 详见下图。KEITHLEY 4200A-SCS 自动化表征套件标准版软件 - 图 4

软件许可证

ACS 允许您创建测试、操作设置和 view 未经许可的先前数据。但是，您必须拥有 ACS 许可证才能控制物理仪器并检索数据。初始安装后，您可以启动 ACS 的一次性 60 天试用版。许可证到期后，您必须购买完整许可证才能使用该软件。KEITHLEY 4200A-SCS 自动化表征套件标准版软件 - 图 5

许可证管理

ACS 软件许可证使用泰克资产管理系统 (TekAMS) 进行管理。
生成许可证 file:

  1. 您必须向 TekAMS 提交您的主机 ID。有关 TekAMS 的更多信息，请参阅 tek.com/products/product-license.
  2. 要查找主机 ID，请从 ACS 帮助菜单中打开许可证管理对话框。选择许可证 > 主机 ID > 单击以复制主机 ID。
  3. 选择安装。

KEITHLEY 4200A-SCS 自动化表征套件标准版软件 - 图 6

ACS 标准版本 6.2.1

增强功能
硬件配置

发行数量： ACS-652
增强： 在 ACS 中添加了对配置 DMM6500 仪器和 DAQ6510 仪器的支持
使用 TSP-Link。

ACS 软件和库

发行数量： ACS-624
 增强： 在扫描步骤测试期间添加了保持时间，该时间针对每个步骤启用。
发行数量： ACS-544
 增强： 添加了在每个步骤的合规性和电源合规性期间停止测试的选项。

已解决的问题

发行数量： ACS-667
症状： 当使用 TSP-Link 在 Group2430 中使用 3 仪器运行多组测试时，
测试完成后没有输出。
解决： 该问题已得到纠正。
发行数量： ACS-666
症状： 使用 24xx TTI SMU 仪器连接 TSP-Link 时出现硬件扫描错误。
解决： 该问题已得到纠正。
发行数量： ACS-665
症状： 连接多台 2410 和 2430 仪器时出现硬件扫描错误。
解决： 该问题已得到纠正。
发行数量： ACS-663
症状： 错误代码 –1014 是由于 MPI 探测器在使用 PrRelReturn 函数时失败所致。
解决： 该问题已得到纠正。
发行数量： ACS-662
症状： 卷tag当使用 100 A 合规性时，漏极输出不正确。
解决： 该问题已得到纠正。
发行数量： ACS-661
症状： 当结合 ITM 的 100 A 合规性时，它不会用新数据刷新。
解决： 该问题已得到纠正。
发行数量： ACS-660
症状： 当 ITM 的脉冲瞬态模式使能时，没有数据输出。
解决： 该问题已得到纠正。
发行数量： ACS-657
症状： 在ITM模式下选择脉冲扫描功能不起作用。
解决： 该问题已得到纠正。
发行数量： ACS-655
症状： ITM 功能列表中的 Sweep2V 和 Sweep2I 已从 ACS 中删除
软件测试。
解决： 该问题已得到纠正。
发行数量： ACS-648
症状： 如果子站点循环期间的压力计数过高，则测试将无法完成。
解决： 该问题已得到纠正。
发行数量： ACS-554
症状： 当您选择 Ron_5A_PULSE_check 功能时，ACS 软件将崩溃。
解决： 该问题已得到纠正。

软件兼容性

发行数量： 不适用
解决： 当您在装有 Clarius 软件版本 4200 或更高版本（使用 Windows 1.4 操作系统）的 10A-SCS 系统上启动 ACS 时，可能会出现一条警告消息，指示 Keithley 外部控制接口 (KXCI) 未成功启动。选择取消以消除警告。

KEITHLEY 4200A-SCS 自动化表征套件标准版软件 - 图 7要手动配置兼容性设置：

  1. 右键单击 ACS 图标并选择属性。
  2. 打开“兼容性”选项卡。
  3. 选择以管理员身份运行此程序，然后选择确定进行保存。KEITHLEY 4200A-SCS 自动化表征套件标准版软件 - 图 8

使用说明

发行数量： 不适用
解决： 如果您安装 KUSB-488B GPIB 驱动程序，您将看到以下消息。您必须选择
Keithley 命令兼容选项。选择“下一步”继续安装。

KEITHLEY 4200A-SCS 自动化表征套件标准版软件 - 图 9

KEITHLEY 标志PA-1008 修订版 U 2023 年 XNUMX 月KEITHLEY 4200A-SCS 自动化表征套件标准版软件 - 条形码

文件/资源

KEITHLEY 4200A-SCS 自动化表征套件标准版软件 [pdf] 用户指南
4200A-SCS、4200A-SCS 自动化表征套件标准版软件、自动化表征套件标准版软件、表征套件标准版软件、套件标准版软件、标准版软件、版本软件、软件

参考

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